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烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻,對(duì)基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會(huì)產(chǎn)生皮膚效應(yīng)。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因?yàn)檩^靠近基片的膜層會(huì)固化好,然后是膜層靠外的部分。該機(jī)由于升溫,所以產(chǎn)量較高。烘烤時(shí)間用秒計(jì)算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時(shí)計(jì)算。該機(jī)主要有機(jī)箱、加熱部件和電控系統(tǒng)組成。機(jī)箱由箱體、罩殼和箱蓋組成。加熱的部件由加熱板、加熱元件及保溫層、隔熱層組成。電控系統(tǒng)由控溫儀、繼電器、熱電偶、開關(guān)、指示燈、風(fēng)扇、插座等組成??販貎x、電源開關(guān)、指示燈...
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旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)一般采用設(shè)備是自動(dòng)勻膠顯影機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來(lái)說(shuō),他們?cè)矶际且粯拥模丛诟咚傩D(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速勻膠顯影機(jī)度及時(shí)間有關(guān)。自動(dòng)勻膠顯影機(jī)清洗保養(yǎng)內(nèi)容:1.裝置殼體及蓋板:用純水浸濕的無(wú)塵布擦拭設(shè)備外殼,及顯影室、水洗室蓋。污物不能擦去純水可...
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勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。勻膠機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。勻膠機(jī)的操作說(shuō)明:(1)選擇合適的專用吸附盤(略小于樣本尺寸),將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝,...
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伺服勻膠機(jī)一個(gè)典型的勻膠過(guò)程包括滴膠,高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個(gè)步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上,高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成薄層,干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動(dòng)態(tài)滴膠。靜態(tài)滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。伺服勻膠機(jī)動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)”的作用是讓...
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臺(tái)式勻膠機(jī)主要由樣品臺(tái)、滴膠裝置和空心電動(dòng)機(jī)組成,其工作原理是,通過(guò)在樣品臺(tái)上產(chǎn)生負(fù)壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺(tái)上,光刻膠液滴注在基底材料的表面,通過(guò)準(zhǔn)確控制電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度,以此來(lái)改變離心力的大小,同時(shí)通過(guò)控制膠液的流量來(lái)達(dá)到制備薄膜所需的厚度。臺(tái)式勻膠機(jī)常用的滴膠方式分為兩種,即靜態(tài)滴膠和動(dòng)態(tài)滴膠。靜態(tài)滴膠是在基片靜止時(shí)將光刻膠滴注到基片的中心位置,滴膠量還應(yīng)根據(jù)光刻膠的黏度和基片的大小來(lái)確定。當(dāng)光刻膠黏度較高或基片尺寸較大時(shí),需要更多的光刻膠才能保證在高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程...
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控溫電解雙噴儀使用注意事項(xiàng):一、電源箱:電解減薄所用的電解液有很強(qiáng)的腐蝕性,所以在操作過(guò)程中,嚴(yán)禁電解液與計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)線接觸。在開機(jī)前必須檢查各部分連接是否正確。先確認(rèn)電極插接良好,然后再啟動(dòng)儀器電源開關(guān),調(diào)整好泵速度,在試驗(yàn)過(guò)程中根據(jù)實(shí)際情況改變泵速度。在試驗(yàn)結(jié)束后,清潔電源箱。保持試驗(yàn)室內(nèi)通風(fēng)良好。二、電解槽:控溫電解雙噴儀電解槽內(nèi)部安裝有制冷片,所以要求電解槽在移動(dòng)過(guò)程中輕拿輕放,嚴(yán)禁碰撞;噴完樣品后,將電解液倒入干凈的燒杯中,然后再倒入盛放電解液的容器中,電解液可以重復(fù)...
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電解雙噴減薄儀是應(yīng)用于透射電子顯微鏡金屬試樣制備的專用設(shè)備。減薄儀采用計(jì)算機(jī)控制,半導(dǎo)體制冷,樣品制備過(guò)程中全程自動(dòng)化。由于采用了半導(dǎo)體制冷技術(shù),開機(jī)后可以在短時(shí)間內(nèi)將電解液的溫度降低。減薄儀具有多種功能設(shè)置,可以根據(jù)您的要求選擇不同的工作參數(shù),完成不同的工作程序。減薄儀運(yùn)用半導(dǎo)體制冷技術(shù),能夠迅速降低電解液溫度,免除應(yīng)用液氮或干冰制冷所產(chǎn)生的麻煩和危險(xiǎn),并保持溫度穩(wěn)定,確保樣品制備工藝規(guī)范統(tǒng)一。穿孔檢測(cè)采用CCD作為感光部件,能實(shí)時(shí)監(jiān)控,大大提高了穿孔報(bào)警的靈敏度,同時(shí)也能...
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