程控勻膠機(jī)是高精密的旋轉(zhuǎn)涂膜儀,其主要被用來替高等院校、科研院所、研發(fā)中心等進(jìn)行各種功能薄膜的研究,開發(fā)。對于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆十分適用。
程控勻膠機(jī)具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
程控勻膠機(jī)的特點(diǎn):
1、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、不生銹,便于清洗。
2、采用全色觸摸屏控制面板,直觀簡單更方便操作。
3、圖形顯示即時旋涂速度和時間,設(shè)置的參數(shù)旋涂過程一目了然。
4、內(nèi)置電腦控制,Windows操作界面,USB接口與打印機(jī)等外部設(shè)備連接(可選)。
5、不銹鋼腔體、聚四氟乙烯腔體(可選)。
6、自定義鍍膜程序、鍍膜步驟任意可變。40種鍍膜程序,每種程序可以設(shè)置40個步驟(可據(jù)用戶要求任意擴(kuò)展)。
注意事項(xiàng):
1、在放置和取下陶瓷插芯時,注意光纖的彎曲程度,勿使光纖折斷。
2、烤膠時,注意加熱板上不要沾到膠水。
3、操作時,靠近加熱板應(yīng)注意,切勿被燙傷。
4、加工完后手不能碰陶瓷頭,以免燙傷。
5、加工時不能有水滴到加熱的部件,防止爆裂。