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烤膠機是針對半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計

更新日期:2021-07-20       點擊次數(shù):1512
  烤膠機是針對半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計的一款產(chǎn)品,烤膠機可在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位,進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用。與傳統(tǒng)的真空干燥箱相比,利用烤膠機固化膜層的優(yōu)勢有:
  (1)烘烤時間減少;
  (2)重復(fù)性高;
  (3)對薄膜的固化效果好。
  烤膠機整個面板溫度均勻,對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會“皮膚效應(yīng)”。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因為最靠近基片的膜層會首先固化好,然后是膜層靠外的部分。該設(shè)備由于升溫迅速,所以產(chǎn)量較高。烘烤時間用秒計算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時計算。
  烤膠機外觀小巧精致,采用高精度微處理器,溫度控制更加準(zhǔn)確,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲,線烘烤時間短、重復(fù)性高和薄膜固化效果好。
  烤膠機的整個面板溫度均勻,對基片膜層固化效果好,具有烘烤時間短、重復(fù)性高等特點。可應(yīng)用在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位,進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用??灸z機的操作步驟:
  1、接通電源,打開開關(guān);
  2、通過控溫儀的上下箭頭設(shè)置所需烘烤溫度;
  3、加熱板溫度到設(shè)置溫度后,可以進入烘烤工作;
  4、將烘烤元件或要加熱的東西放在加熱板上(烘烤時間由操作者控制掌握)。
  烤膠機包含真空腔體和溫控裝置兩部分,采用新穎的數(shù)字式加熱設(shè)計,可以準(zhǔn)確的控制表面溫度;堅固耐腐蝕的鋁合金面板,優(yōu)異的導(dǎo)熱性可以滿足多種應(yīng)用場景;數(shù)字式顯示器可迅速編碼準(zhǔn)確控制溫度;獨立的防過熱電路設(shè)計,確保實驗安全。
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